真空度的測量都有什么儀器儀表
摘要：真空度的測量都有什么儀器儀表呢？今天特耐爾真空跟大家一起來總結(jié)學(xué)習(xí)一下：
真空度的測量都有什么儀器儀表呢？今天特耐爾真空跟大家一起來總結(jié)學(xué)習(xí)一下：
（一）真空計的種類很多，根據(jù)工作原理可分為：絕對真空計和相對真空計。
（二）彈性變形真空計：如真空壓力表、薄膜真空計等。
（三）石英真空計。
（四）熱傳導(dǎo)真空計：如電阻真空計（皮拉尼真空計）、熱偶真空計。
（五）熱陰極電離真空計：普通型、B-A真空計。
（六）冷陰極磁控放電真空計：潘寧真空計。
（七）四極質(zhì)譜計。
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